|
|
1. Участок химической обработки пластин |
2. Установка плазмохимического нанесения и травления диэлектрических слоёв “PLASMALAB -100” |
|
|
3. Установка магнетронного напыления металлов «Оратория–5» |
4. Установка ЭМ-576А для операций фотолитографического совмещения и экспонирования |
|
|
5. Установка ионно-лучевого нанесения слоев окисла ванадия |
6. Установка плазмохимической обработки кремниевых пластин |
|
|
7. Установка вакуумного отжига |
8. Откачной пост |
|
|
9. Установка контроля герметизации |
10. Зонд разбраковки и контроля мультиплексоров |
|
|
11. Установка совмещения кристаллов, предварительный контроль |
12. Установка гибридной микросборки кристаллов |
|
|
13. Установка ультразвуковой сварки контактов |
14. Стенд измерения параметров фотоприёмных модулей |
|
|
15. Готовое микроболометрическое фотоприёмное устройство |
|