web-master


ДИФРАКТОМЕТР БЫСТРЫХ ЭЛЕКТРОНОВ

        Аналитический прибор для использования дифракции быстрых электронов в высоковакуумных установках. В нем генерируется хорошо коллимированный пучок электронов с энергией до 25 кВ. Дифрактометр быстрых электронов (ДБЭ) может работать как в сверхвысоком вакууме, так и в условиях относительно невысокого вакуума порядка 10-5Тorr. Электронно-оптическая система ДБЭ позволяет получить следующие характеристики пучка электронов:

  • малая расходимость пучка электронов <10-4 рад;
  • отклонение пучка электронов в диапазоне углов ±5°.
         Дифрактометр разработан так, что он может быть встроен в сверхвысоковакуумную камеру в установках молекулярно-лучевой эпитаксии. В его конструкции используются только сверхвысоковакуумные материалы. Конструкционные материалы электронного источника обладают малым собственным газоотделением. Источник электронов допускает отжиг до температуры 200°С при обезгаживании установки.

ПАРАМЕТРЫ ДИФРАКТОМЕТРА
№ Наименование параметра Значение
1 Энергия пучка электронов, кэВ 10 - 25
2 Ток пучка электронов, мкА, не более 100
3 Угол расходимости пучка, рад, не более0,004
4 Потребляемая мощность Вт, не более 160
5 Габариты электронной пушки, мм800 x 150
6 Габариты блока питания, мм480x480x220
7 Масса, кг, не более22
8 Условия эксплуатации прибора:  
температура окружающего воздуха, оС: 22±7
относительная влажность
окружающего воздуха при 25 оС и ниже, %, не менее		80
атмосферное давление, мм рт.ст.760±30
электрическое питание - от сети переменного однофазного тока  
напряжение, В220±22
частота, Гц50±1
9 Гарантийный срок обслуживания прибора с даты поставки 1год

         Дифрактометр быстрых электронов присоединяется к вакуумной установке с   помощью стандартного высоковакуумного фланца ДУ 100 (UHV 100 CF) или с помощью переходника на другой проходной диаметр. Стандартное присоединени электронной пушки осуществляется соосно с "портом" вакуумной камеры.

Внешний вид электронной пушки дифрактометра, блок питания и выносной пульт управления
Рис.1
Блок питания магнитных катушек фокусирующей и отклоняющей систем
Рис.2
Выносной пульт управления дифрактометром
Рис.3
Дифракционная картина от чистой поверхности Si(111)7x7
Рис.4

        На рис.1 показан внешний вид электронной пушки дифрактометра, блок питания и выносной пульт управления;
        на рис.2 - блок питания магнитных катушек фокусирующей и отклоняющей систем;
        на рис.3 - выносной пульт управления дифрактометром;
        на рис.4 - дифракционная картина от чистой поверхности Si(111)7x7.

         Оптическая система дифрактометра не имеет апертурной диафрагмы, но оснащена фокусирующей линзой, благодаря этому такие параметры, как фокусное расстояние и расходимость пучка электронов с одной стороны, и диаметр пучка, его положение и интенсивность с другой стороны можно раздельно (независимо) регулировать, используя электрическое управление.
         Наименьший достижимый размер                 электронного пятна на экране дифрактометра находится в диапазоне 200 - 800 мкм, в зависимости от рабочего расстояния.
         Слабые статические магнитные поля             (магнитное поле Земли или поле магниторазрядных ионных насосов) практически не оказывают влияния на свойства пучка электронов, так как они хорошо компенсируются отклоняющей системой.

   









    Консультативная поддержка:
    тел./факс:(383) 333-32-86, 333-35-02.
    E-mail: pch@isp.nsc.ru