web-master


ИСТОРИЯ СОЗДАНИЯ ВАКУУМНОГО ОБОРУДОВАНИЯ В ИФП СО РАН

Установки (Год разработки) Город, организация (пользователь) Год выпуска
"МАВР" (ИФП СО РАН 1978)
1-камерная Новосибирск, ИФП (Пчеляков О.П.) 1979
"СЕЛЕНГА" (Совместно с ИЯФ СО РАН 1982)
3-камерная Новосибирск, ИФП (Кантер Ю.О.) 1982

       ИФП СО РАН совместно с Конструкторско-технологическим институтом прикладной микро-электроники, Опытным заводом СО РАН и НИИ Вакуумного электронного машиностроения г.Ижевска изготовлено 39 установок МЛЭ, в том числе 85 СВВ камер, более 100 дифрактометров быстрых электронов и лазерных встраиваемых эллипсометров

"АНГАРА"(модель 1985)
3-камерная Новосибирск, НПО "Союз" (Коробов В.В.) 1986
3-камерная Новосибирск, НПО "Восток" (Величко А.А) 1986
3-камерная Красноярск, ИФ (Овчинников С.Г.) 1986
3-камерная Минск, МНИИРМ (Грачев О.А) 1986
"КАТУНЬ"(модель 1987)
3-камерная Минск, МНИИРМ (Ломовой В.В) 1987
3-камерная Москва, "Орион" (Осадчев Л.А.) 1987
"КАТУНЬ В"(модель 1988)
3-камерная Болгария, Пловдив (Каканаков Р.Д) 1988
3-камерная Красноярск, ПО "Искра" (Игнашев М.П.) 1988
3-камерная Москва, ФИАН (Клевков Ю.В.) 1988
1-камерная Владивосток, ИАиПУ (Лифшиц В.Г) 1989/90
1-камерная Новосибирск, "ИНТРА" (Лубышев Д.И) 1989/90
3-камерная Н-Новгород, НИИИС (Кванин В.Н.) 1989/90
3-камерная С-Петербург, ГОИ (Овсянников В.В.) 1989/90
3-камерная Новосибирск, Оп. з-д. (Третьяков А.Г.) 1989
2-камерная Киев, ИХП (Козырев Ю.Н.) 1989
1-камерная Черноголовка, ИПТМ РАН (Вяткин А.Ф.) 1989
1-камерная Новосибирск, МП "Синтез" (Третьяков А.Г.) 1989

      Установками молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ), изготовленными за счёт привлечения внебюджетных средств, оснащались лаборатории Института физики полупроводников СО РАН

"АНГАРА"(модель 1985)
3-камерная Новосибирск, ИФП (Торопов А.И.) 1985
3-камерная Новосибирск, ИФП (Шумский В.Н.) 1986
2-камерная Новосибирск, ИФП (Двуреченский А.В.)       1986
1-камерная Новосибирск, ИФП (Машанов В.И.) 1986
1-камерная Новосибирск, ИФП (Калинин В.В.) 1986
"КАТУНЬ"(модель 1987)
3-камерная Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) 1987
"КАТУНЬ В"(модель 1988)
2-камерная Новосибирск, ИФП (Кожухов А.В.) 1989
1-камерная Новосибирск, ИФП (Соколов Л.В.) 1989
"КАТУНЬ С"(модель 1990)
1-камерная Новосибирск, ИФП (Торопов А.И.) 1990/91
1-камерная Новосибирск, ИФП (Ольшанецкий Б.З.) 1990/91
1-камерная Новосибирск, ИФП (Лубышев Д.И.) 1990/91
2-камерная Новосибирск, ИФП (Кантер Б.З.) 1990
1-камерная Новосибирск, ИФП (Калинин В.В) 1990/91
"ОБЪ" (модель 1991)
3-камерная Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) 1992
Установка для лазерного разделения изотопов "УЛОВ" ''УЛОВ''
1-камерная Новосибирск, ИФП (Бохан П.А.) 2001
"ОБЪ" (модель 2000) ''ОБЪ''
4-камерная Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) 2002
4-камерная Новосибирск, ИФП (Сидоров Ю.Г.) 2005
Установка для лазерного охлаждения вещества "Магнолия"
1-камерная Новосибирск, ИЛФ СО РАН, (Багаев С.Н.) 2006
"КАТУНЬ-100" (модель 2007)
1-камерная Томск, ТГУ, (Ивонин И.В.) 2008
"КАТУНЬ-100" (модель 2008)
2-камерная Новосибирск, НГТУ, (Величко А.А.) 2008
Стенд - имитатор космического вакуума "Экран"
1-камерный Новосибирск, ИФП СО РАН, (Петиков Н.И.) 2008
Отдельные узлы и блоки установки "Катунь С"
RHEED+
Ист. мол.пучков
Бразилия, Сан-Карлос (Басмажи П.) 1992
Ист. мол. пучков Польша, Варшава (Херман М.) 1993
Ист. мол. пучков Япония, Токио (Нишинага Т.) 1994
Вакуумный ввод
прецизионного
перемещения
и ЭЛИ с БП
Черноголовка, ИПТММ РАН (Вяткин А.Ф.) 2004
ЭЛИ,
Источники МП,
Блоки питания, ДБЭ
Санкт Петербург (Чалый В.П.) 2007-2008
ДБЭ, Эллипсометр Казахстан, Алматы (Токмолдин С.Ж.) 2008