ЛАБОРАТОРИЯ НЕРАВНОВЕСНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СИСТЕМ

RU
EN

Института физики полупроводников СО РАН

 

ГЛАВНАЯ

ПУБЛИКАЦИИ

РАЗРАБОТКИ

ПРИБОРЫ

СОТРУДНИКИ

ПАТЕНТЫ

АСПИРАНТЫ
 И CОИСКАТЕЛИ

Смирнов Леонид Степанович

главный научный сотрудник

доктор физико-математических наук

профессор

лауреат Государственной премии СССР

заслуженный деятель науки и техники.

Научная деятельность:

    Л.С. Смирнов - специалист в области физики полупроводников и полупроводниковой элеткроники. Основные направления исследований Л.С. Смирнова: действие излучений на полупроводники, ионная имплантация и импульсный отжиг.

    Комплексное изучение в облученных полупроводниках процессов, включающих образование радиационных дефектов, их свойства, взаимодействие дефектов с примесями, дислокациями, термоэффектами, границами раздела привело к формированию физических основ и разработке методов радиационной технологии и повышения радиационной стойкости элементов полупроводниковой электроники. (1954-1984гг.).

    Проведенные исследования по физике ионного легирования кремния и бинарных соединений, в частности, процессов дефектообразования и поведения примесей в зависимости от условий имплантации и режимов термообработки, радиационно-ускоренной диффузии, ионного синтеза стимулировали внедрение ионно-лучевой технологии в промышленное производство (1964-1984гг).

    Предложен и реализован метод импульсного нагрева тонких слоев полупроводников мощними световыми или электронными лучами, позволяющий получать сверхтонкие легированные м пересыщенные прмесью слои без изменения свойств матрицы, разработано соответствующее оборудование. С помощью импульсного метода можно создавать монокристаллические полупроводниковые слои на аморфных диэлектриках, что открывает путь к многослойной электонике (1974-1984гг.).

    Л.С.Смирнов подготовил 21 кандидата и 2-х докторов наук.

    Автор 19 изобретений.

Образование:

    ЛГУ

Трудовая деятельность:

  • ФИАН, 1954 г.
  • ИФП СО РАН, 1962 г.

Избранные публикации:

  • Автор более 220 оригинальных работ,
  • 4-х обобщающих монографий ("Физические процессы в облученных пролупроводниках", 1974г.; "Вопросы радиационной технологии полупроводников", 1980г.; "Легирование полупроводников методом ядерных реакций", 1984г.; "Импульсный отжиг полупроводниковых материалов", 1982г.)

Последнее обновление: 05.07.2010

© www.isp.nsc.ru/24