Максим Аксенов, фото Сиб.фм
Проект Сиб.фм «Будущее российской науки» рассказывает о молодых новосибирских ученых и их разработках. Какие фантастические идеи воплощаются в недрах институтских лабораторий, и как уже в недалеком будущем они изменят нашу жизнь? О чем мечтают, как отдыхают, чем увлекаются и, конечно, как дошли до «жизни научной» те, от кого зависит наше технологическое завтра? Обо всем этом наши герои рассказывают сами. Наша следующая история – о том, как в Академгородке, в необычных лабораториях, напоминающих матрешку, ускоряют российский интернет и обеспечивают технологический суверенитет страны.
Герой нашего нового сюжета — кандидат физико-математических наук старший научный сотрудник Института физики полупроводников им. А.В. Ржанова СО РАН Максим Аксёнов работает в необычной лаборатории. Чтобы добраться до нее, проходим через особый коридор, выполняющий роль своеобразного шлюза. А сам корпус на улице Пирогова, в котором расположена лаборатория, имеет загадочное для непосвященного название «термостатированный».
Здание на самом деле напоминает термос или матрешку: одно здание находится внутри другого. В так называемых «чистых» лабораториях, которые находятся во внутреннем корпусе, строго поддерживается нужный микроклимат – температура, влажность, а, главное, крайне малое количество пыли. А все «грязное» оборудование выведено во внешнюю часть здания.
В лаборатории изготавливают полупроводниковые приборные структуры, части которых сопоставимы с размерами пылинок – сотые и тысячные доли миллиметра (10-5-10-6 м). Поэтому даже самая ничтожная инородная частица может все испортить при их изготовлении.
Таких уникальных зданий, кстати, совсем немного в России. Его построили одним из первых в Академгородке в 60-х годах ХХ века. И в свое время оно считалось шедевром инженерной инфраструктуры.
Что касается лаборатории, в которой трудится Максим Аксёнов, то она местами чем-то напомнила проявочные лаборатории старых фотостудий – многие устройства защищены красным оргстеклом, чтобы фоточувствительный полимер (фоторезист), необходимый для создания «рисунка» на поверхности полупроводников, не «засветился» раньше времени. «Для этого мы иногда даже работаем в полной темноте – закрываем шторы и выключаем свет, — добавляет интриги Максим Сергеевич.
«Полупроводники, — рассказывает ученый, — это что-то среднее между металлами, которые хорошо проводят электрический ток, и диэлектриками, которые его не проводят. В зависимости от того, как мы их сделаем, они могут быть и теми, и другими. Из этих полупроводников мы создаем разные приборные структуры, но, в основном, фотоприёмные».
Фотоприёмные устройства, по словам Максима Аксёнова, очень сложны в изготовлении, которое включает до 20 операций фотолитографии, т.е. нанесение фоторезиста, формирование рисунка с последующим травлением или нанесением каких-либо металлических или диэлектрических покрытий.
Таким образом формируется многослоевая структура, где каждый слой, который – даже представить трудно – толщиной всего в несколько десятитысячных долей миллиметра (10-7 м), имеет свой рельеф, который можно сравнить с горами и низинами, и «рисунок».
«Эти рисунки нужны, потому что прибор состоит из контактов, у которых может быть разная конфигурация и форма, они могут быть сделаны на разной высоте, это зависит от конструкции конкретного прибора», — говорит ученый…
Продолжение ― на сайте sib.fm
Видео: Сиб.фм