Во вторник, 26 января, в 10:00 в КЗ ЛТК состоится семинар Лаборатории 10.
K.V. Feklistov. Silicon shallow doping by erbium and oxygen recoil implantation.
Статья в APL Materials.
Рецензент Л.Н. Сафронов
21.01.16
| Семинар Лаборатории 10 |
Во вторник, 26 января, в 10:00 в КЗ ЛТК состоится семинар Лаборатории 10. K.V. Feklistov. Silicon shallow doping by erbium and oxygen recoil implantation. Статья в APL Materials. Рецензент Л.Н. Сафронов |