Лаборатория физики и технологии трёхмерных наноструктур

ПУБЛИКАЦИИ

1998

1. Патент 2112300. Способ изготовления защитной маски для нанолитографии. Принц В.Я., Селезнев В.А., Принц А.В., Опубл. в Б.И., 1998, №15.
2. Gorokhov E.B., Prinz V.Ya., Noskov A.G., Gavrilova T.A., A novel nanolithographic concepts using crack-assisted patterning and self-alignment technology. J. of the Electrochem. Society, 1998, 145(6), p. 2120-2131.