РЕЗУЛЬТАТЫ

2013

Модифицированный метод эффективного показателя преломления, корректно описывающий фазовую и групповую скорости трехмерного оптического волновода
А.В. Царев
Лаборатория оптических материалов и структур.

Трехмерные волноводные структуры чрезвычайно сложны для количественного анализа, поэтому для их описания принято применять приближенные алгоритмы на основе метода эффективного показателя преломления (EIM). Однако, EIM обладает принципиальным недостатком, который заключается в том, что трехмерный волновод с двумя характерными параметрами (ширина и толщина), заменяется на двумерный волновод, но только с одним пространственным параметром (ширина).

Рис. Зависимость группового (Ng) индекса показателей преломления от длины волны оптического излучения, рассчитанного разными методами. Вставки показывают распределение показателя преломления 3D и 2D структур. 3D и 2D FDTD моделирование.

В результате, дисперсионные свойства трехмерного и двумерного волноводов (см. Рис.) принципиально отличаются, что может приводить к большим ошибкам (до 35%), при описании оптических свойств (например, групповой скорости (группового индекса), размера свободной спектральной зоны, величины отклика на локальные возмущения и т.д.) различных фотонных структур. Нами предложен и обоснован модифицированный метод эффективного показателя преломления (MEIM), который впервые использует два пространственных параметра. Это позволило преодолеть указанное выше принципиальное ограничение метода EIM и более чем на порядок (до 1%) повысить точность численного анализа различных трехмерных волноводных структур в ходе двумерного моделирования методом конечных разностей во временной области (FDTD).

2012

Определение длины волны оптического сенсора с помощью компактного термо-оптического фильтра в структуре кремний-на-изоляторе
А.В. Царев
Лаборатория оптических материалов и структур.
Работа выполнена в кооперации с Политехническим университетом Барии, Италия.

Предложен и численно промоделирован новый интегрально-оптический элемент для считывания информации о длине волны волоконных датчиков, работающих на основе изменения рабочей длины волны под действием внешних возмущений. Оптический фильтр на основе структуры кремний-на-изоляторе (КНИ) формируется с помощью множества наклонных отражателей на основе глубоких канавок, пересекающих сердцевину оптического волновода. Считывание данных о длине волны осуществляется на основании изменения во времени оптического сигнала, проходящего через указанный фильтр, рабочая длина волны которого линейно перестраивается за счет изменения температуры в канальных оптических волноводах на КНИ. Работа устройства исследована для компактных структур с 32 линиями отражателей путем прямого двумерного численного моделирования (см. Рис.) методом конечных разностей во временной области (2D FDTD).

Работа термо-оптического считывающего элемента. а) Общий вид части структуры, используемой для моделирования; б) Измеряемый сигнал и оптическая частота фильтрации (с) в зависимости от изменения температуры термо-оптического фазосдвигающего элемента. 2D FDTD моделирование.

Экстраполяция этих результатов на устройства с характерным размером порядка 1 см, показывает, что они могут обеспечить спектральное разрешение на уровне 1-5 пм при перестройке длины волны около 40 нм в спектральном диапазоне 1.55 мкм за время около 1 мс. При условии опроса датчиков один раз в секунду, потребляемая мощность составит около 16 мВт. Такие параметры считывающего элемента очень перспективны для практического использования. Устройство может быть изготовлено на основе современных КМОП-совместимых нанофотонных технологий.

Структурные и электронные параметры слоистых нелинейно-оптических боратов семейства K2Al2B2O7
В.В. Атучин, С.В. Адищев, Б.Г. Базаров, Ж.Г. Базарова, Т.А. Гаврилова, В.Г. Гроссман, В.Г. Кеслер, Z.S. Lin, М.В. Молокеев, Н.В. Суровцев
Лаборатория оптических материалов и структур.
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии.
Лаборатория физических основ интегральной микроэлектроники.
Институт автоматики и электрометрии СО РАН.
Байкальский институт природопользования СО РАН.
Институт физики СО РАН.
Technical Institute of Physics and Chemistry, Chinese Academy of Sciences, Beijing, China.

Слоистый тригональный борат калия алюминия K2Al2B2O7, пр. группа P321, прозрачен до ~180 нм, обладает высоким двулучепреломлением n~0.08 и является одним из лучших нелинейно-оптических кристаллов для преобразования частот в УФ диапазоне спектра. Впервые синтезированы и изучены твердые растворы состава K2(1-x)Rb2xAl2B2O7, образующиеся при замещении калия на рубидий. В результате структурных иследований установлена, что кристаллическая структура типа K2Al2B2O7 сохраняется в диапазоне 02B2O7. По совокупности известных литературных данных определено поле структурных параметров, показанное на Рис. 2, в котором возможно существование структур типа K2Al2B2O7.

Рис. 1. Кристаллическая структура KRbAl2B2O7.
Рис. 2. Известные кристаллы и твердые растворы со структурой K2Al2B2O7.

Видно, что для данного структурного типа наблюдаются чрезвычайно широкие диапазоны изменения параметров элементарной ячейки, определяемые возможностью относительного разворота сочленённых углами треугольников BO3 и тетраэдров AlO4 в слоях - BO3-AlO4- при вхождении катионов в межслоевое пространство. Таким образом, структура K2Al2B2O7 весьма расположена к образованию твёрдых растворов замещения в позициях калия или алюминия. Стабильность слоистого кристалического каркаса при замещении части калия на рубидий подтверждена методами спектроскопии комбинационного рассеяния света (КРС). Показанный на Рис. 3 спектр КРС кристалла KRbAl2B2O7 практически не отличается от аналогичного спектра для K2Al2B2O7.

Рис. 3. Спектр КРС кристалла KRbAl2B2O7.
Рис. 4. РФЭС спектр валентной зоны KRbAl2B2O7.

Электронная структура KRbAl2B2O7 исследована методом РФЭС. В частности, на Рис. 4 показано строение валентной зоны данного бората. Видно, что в рассматриваемом кристалле потолок валентной зоны определяется относительно широкой группой смешанных состояний. Путем сопоставления РФЭС измерений с результатами теоретических расчетов зонной структуры KRbAl2B2O7 показано, что потолок валентной зоны образован орбиталями бора и кислорода. Установлено, что зонная структура соединений семейства K2Al2B2O7 практически не зависит от комбинации щелочных элементов на позициях калия, что говорит о сохранении величин нелинейно-оптических коэффициентов при образовании твёрдых растворов.

2011

Стабильность поверхности (0001) топологического изолятора Bi2Se3
С.В.Макаренко, В.А.Голяшов, А.С.Кожухов, К.А.Кох, В.В.Атучин, К.Н.Романюк, И.В.Корольков, В.Н.Кручинин, Л.Д.Покровский, И.П.Просвирин, А.А.Шкляев, О.Е.Терещенко
Лаборатория молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводниковых соединений A3B5.
Лаборатория оптических материалов и структур.
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии.
Лаборатория эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур.

Интерес к изучению поверхностей (0001) монокристаллов V2VI3 связан с проявлением этими соединениями свойств топологических изоляторов (ТИ), открытых несколько лет назад. Данные материалы являются изоляторами в объёме, поверхность которых становится проводящей вследствие сильного спин- орбитального взаимодействия и возникновения спин-расщеплённых поверхностных состояний с непрерывным спектром, образующим Дираковский конус. Соединение Bi2Se3 кристаллизуется в пространственной группе R-3m и характеризуется выраженной слоистой структурой с объёмной шириной запрещенной зоны Eg = 0.3 эВ.

Совершенный монокристалл Bi2Se3 был выращен в Институте геологии и минералогии СО РАН с использованием вращающегося теплового поля (рис.1а).

Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, атомно-силовой и сканирующей туннельной микроскопии и спектроскопии продемонстрирована инертность поверхности скола (0001) монокристаллического Bi2Se3 к окислению: после месяца хранения образцов на воздухе на поверхности не образуются собственные оксиды висмута и селена (рис.2). Получены атомно-гладкие поверхности макроскопических размеров (~2-3 см2) со средней квадратичной шероховатостью менее 0.1 нм (рис.1b,d) и атомным разрешением структуры (1×1)- (0001) Bi2Se3 (рис.1c) после двухнедельной экспозиции на воздухе. Измерение туннельной проводимости выявило квазилинейную зависимость поверхностной плотности состояний от энергии в запрещённой зоне Bi2Se3 (рис.1c).


Рис. 1. (а) Монокристалл Bi2Se3 со сколотой поверхностью (0001), (б) АСМ изображение такой поверхности, (в) результаты СТМ измерений и (г) профиль микрорельефа вдоль линии на рисунке (б).

Таким образом, в работе продемонстрированы инертные свойства поверхности (0001) Bi2Se3, являющиеся универсальными для слоистых материалов с высокой степенью совершенства поверхности. Стабильность поверхности (0001) Bi2Se3 объясняется тем, что поверхностные атомы селена на идеально терминированной (0001) поверхности имеют замкнутые электронные оболочки с направленными связями внутрь кристалла и с отсутствующими болтающимися орбиталями.


Рис. 2. Фотоэлектронные спектры дублетов Bi 4f и Se 3d после (а) 1 мин и (б) 30 дней экспозиции на воздухе.

Полученные результаты продемонстрировали сохранение ТИ свойств поверхности (0001) объемного топологического изолятора Bi2Se3 при длительном хранении в атмосферных условиях.

3D структуры на основе графена на напряженной InGaAs плёнке
Р.М.Тазиев, В.Я.Принц
Лаборатория физики и технологии трёхмерных наноструктур.
Лаборатория оптических материалов и структур.

Графен привлекает внимание как новый и уникальный двумерный электронный материал для будущего наноэлектроники из-за его "естественного" двумерного характера локализации электронов в одном из пространственных измерений. Для создания функциональных наноустройств, таких как одноэлектронные транзисторы, квантовые точечные контакты, или квантовые точки (КТ), требуется локализация электронов и по двум оставшимся пространственным измерениям. Известно, что в свободно-подвешенном состоянии мембрана из графена не является плоской, а имеет выпуклости и впадины, амплитуда которых достигает 1 нм. Искусственное создание каких-либо трёхмерных структур из плоского монослоя графена весьма затруднительна. Предложены новые 3D-структуры на основе графена, предварительно осаждённого на упругонапряженную InGaAs пленку. Такая напряжённая структура графен/InGaAs из-за локального подтравливания подложки выпучивается и поверхность графена принимает трёхмерную структуру. Теоретически и численно изучены условия выпучивания для круговых структур: графена/InGaAs. Показано, что для тонкой круговой плёнки из InGaAs с монослоем графена с радиусом 120 нм и толщиной 4 нм реализуются три осесимметричных формы выпучивания. Для начального значения упругой деформации пластины в 3% деформации в графене достигают 1%. Эта деформация радиально распределена неоднородно в монослое графена. Контроллируемые форма её поверхности и модуляция физических свойств графена из-за неоднородности упругих напряжений позволит в будущем создавать различного рода квантовые наноустройства.


Рис. Моды выпучивания слоистой структуры графен/InGaAs.

Например, известно, что локально выпученные или деформированные области графена обладают избирательно повышенной энергетической способностью образования связи с адсорбатами на её поверхности, и, если, например, будет адсорбироваться водород, то в этой области образуется локальный n-i переход. В таких структурах должны проявляться гигантские градиентные явления в сильных магнитных полях [Vorob'ev et al. Phys. Rev. 2006]. Структуры перспективны для формирования графеновых квантовых колец и других функциональных элементов.

Эффективное пересечение кремниевых полосковых волноводов с пренебрежимо малым уровнем перекрестных помех
А.В.Царев
Лаборатория оптических материалов и структур.

Множество оптических элементов используют пересечение канальных оптических волноводов. Предложен и исследован новый тип эффективного пересечения кремниевых полосковых волноводов (кремниевых проволок) с помощью вертикальной связи (через окисный слой) суживающейся части кремниевого волновода с верхним широким канальным полимерным волноводом (см. Рис.а).

Рис. Эффективное пересечение кремниевых проволок. а) Общий вид (снизу) структуры на основе кремниевых проволок (размеры в мкм), вертикально связанных с широким полимерным волноводом (располагается сверху); б) Эффективность прохождения (T) двух пресекающихся кремниевых проволок различного сечения (в нм) в зависимости от показателя преломления (Nw) верхнего полимерного волновода. 3D FDTD моделирование.

Численное трехмерное моделирование методом конечных разностей во временной области (3D FDTD) позволило показать, что оптимальная структура длиной всего 70 мкм может обеспечивать 98% эффективность прямого прохождения (см. Рис.б) и еще более высокую эффективность 99.9% для перпендикулярного прохождения.

При этом обеспечивается незначительное отражение назад (-50 дБ) и пренебрежимо малые перекрестные помехи (-70 дБ). Предлагаемое пересечение кремниевых волноводов может быть изготовлено по КМОП-совместимой технологии и найти широкое применение в области полупроводниковой фотоники и сенсорики в случаях, когда множественные эффективные пересечения волноводов необходимы для обеспечения высоких параметров оптических устройств, реализованных в структурах кремний-на-изоляторе и имеющих высокий контраст показателя с окружающим окислом.

2010

Новые широкие одномодовые канальные волноводы с наложенной полоской и дифракционной решеткой в структурах кремний-на-изоляторе
А.В.Царев
Лаборатория оптических материалов и структур.

Предложены и исследованы новые широкие одномодовые канальные оптические волноводы с наложенной полоской и решеткой (НПР) (Рис.1а) из нитрида кремния на буферном окисном слое планарного волновода кремний-на-изоляторе (КНИ). Центральная полоска шириной 10 мкм формирует канальный многомодовый волновод, а дифракционные решетки с периодом 0.6 мкм, изготовленные на краях структуры, создают модозависимые дополнительные потери за счёт излучения в окружающую среду. Оптические свойства предлагаемых волноводов обсуждаются на основе результатов трёхмерного численного моделирования методами FDTD и BPM. Показано [1, 2], что широкий НПР-волновод является практически одномодовым, так как обладает малыми потерями на распространение (0.3 дБ/см) для фундаментальной моды и высоким уровнем подавления мод высокого номера (Рис.1б). Новые НПР-волноводы можно изготовить за счёт объединения технологий нанофотоники и интегральной оптики. Они являются КМОП совместимыми и являются базовыми для создания различных фотонных элементов, в том числе, перестраиваемых оптических фильтров и мультиплексоров на основе запатентованной многоотражательной технологии.

Рис.1. Оптические свойства НПР-волновода. а) общий вид волноводной структуры и распределение амплитуды электромагнитного поля фундаментальной моды; б) оптические потери фундаментальной и первой мод НПР-волновода как функция толщины плёнки при разных толщинах буферного слоя окисла (h0 = 220 нм, d = 160 нм, W0 = 32 мкм; W=10 мкм): 1 – планарное основание волновода из кремния; 2 – полоска нитрида кремния над буферным окисным слоем; 3 - дифракционная решетка из нитрида кремния; W и d - ширина и толщина полоски; Wg0 - ширина дифракционной решетки; Wg - ширина области между полоской и решеткой; W0 - общая ширина планарного основания волновода; hc - толщина буферного слоя, h0 – толщина кремниевой сердцевины.

  1. Andrei V. Tsarev, "New wide strip and grating loaded quasi-single-mode waveguide on SOI," Opt. Express 17, 13095-13101 (2009). IF = 3.88.
  2. А.В.Царев, "Оптические свойства широких одномодовых канальных волноводов с наложенной полоской и дифракционной решеткой", Квантовая электроника (2009), принята к печати. IF = 0.84.

Структурные и оптические характериcтики нанокристаллов тригонального ацентричного оксида германия
И.Б. Троицкая, Т.А. Гаврилова, В.В. Атучин
Лаборатория оптических материалов и структур.
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии.
Институт неорганической химии СО РАН.
Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН.
University of Texas at El Paso, USA

В настоящей работе методом химического осаждением из водного раствора, без проведения дополнительной термообработки преципитата, получены нанокристаллы высокотемпературной модификации оксида германия β-GeO2 с ацентричной кристаллической структурой, пространственная группа P3221, a = 498.7(4) pm, c = 565.2(5) pm, поле стабильности которой обычно располагается при температурах T > 1033-1116°С. Получены моноразмерные, однотипные по морфологии, несклонные к агрегатированию нанокристаллы с характерным размером ~500 нм и габитусом 1:1 (Рис.1.а). Методами КР-спектроскопии и РФА установлено отсутствие каких-либо низкотемпературных фазовых переходов при хранении в течение нескольких месяцев на воздухе в температурном интервале Т = 24-54°С, что подтверждает высокую структурную стабильность синтезированной полиморфной модификации оксида германия. Предположительно стабилизация высокотемпературной фазы достигается благодаря вхождению некоторого количества ионов H+ в кристаллическую решетку GeO2. Исследованы оптические характеристики синтезированных нанокристаллов. Спектр оптического пропускания показан на Рис.1.б. Наблюдается резкий край пропускания при λ ~ 220 nm, связанный с фундаментальным поглощением в данном материале. Ширина запрещённой зоны, оценённая из оптических измерений в предположении прямозонных переходов, составляет Eg = 5.72 eV. На основании данных, полученных методами ДТГ, ИК- и КР-спектроскопии, ПЭМ, РЭМ, РЭМ-РМА и РФА рассмотрены факторы размера, состава и особенностей локальной структуры синтезированных кристаллов, обеспечивающие стабильность существования тригональной ацентричной модификации β-GeO2 при комнатной температуре.

Рис.1. а) РЭМ изображение нанокристаллов β-GeO2; б) спектр оптического пропускания нанокристаллов β-GeO2 в видимой и УФ областях спектра.

  1. V.V. Atuchin, T.A. Gavrilova, S.A. Gromilov, V.G. Kostrovsky, L.D. Pocrovsky, I.B. Troitskaia, R.S. Vemuri, G. Carbajal-Franco, C.V. Ramana. Low-temperature chemical synthesis and microstructure analysis of GeO2 crystals with α-quartz structure. Crystal Growth & Design 149 (2009) 1829-1832. IF = 4.22.

Деление пучка с помощью одномерного фотонного кристалла из периодического набора дырок в полосковом оптическом волноводе кремний-на-изоляторе
А.В.Царев
Лаборатория оптических материалов и структур.

Выполнено исследование распространения света в полосковом оптическом волноводе с наклонным отражателем в виде одномерного фотонного кристалла из периодического набора наноразмерных отверстий (см. Рис. а). Путем прямого трехмерного численного моделирования методом конечных разностей во временной области (3D FDTD) было показано, что для волны ТЕ-поляризации при угле падения около 39° наблюдается эффект Брюстера.

Рис. Деление пучка на наклонном отражателе в виде одномерного фотонного кристалла. а) общий вид волноводной структуры (стрелки иллюстрируют различные механизмы потерь на рассеяние); б) Угловая зависимость коэффициентов отражения и прохождения для разных значений ширины волновода W и шага вычислений G методом 3D FDTD. d = 200 нм, a = 300 нм.

Это позволяет обеспечить малые коэффициенты деления пучка (< 0.04) в широком спектральном диапазоне. Рассмотрены механизмы дополнительных оптических потерь из-за рассеяния на трёхмерном дискретном отражателе из периодического набора периодических дырок. На примере волновода кремний-на-изоляторе с отражателем из набора отверстий с шагом 300 нм и диаметром 200 нм, заполненных окислом кремния, показано, что оптические потери могут быть пренебрежимо малыми, несмотря на высокий контраст показателя преломления (см. Рис. б). Предлагаемые делители пучка на одномерных фотонных кристаллах являются КМОП совместимыми и могут быть использованы при конструировании различных мульти-отражательных фильтрующих элементов для оптической связи и сенсорики.

Электронная структура KPb2Br5
В.В.Атучин, Л.И.Исаенко, В.Г.Кеслер, А.Ю.Тарасова
Лаборатория оптических материалов и структур.
Лаборатория физических основ интегральной микроэлектроники.
Институт геологии и минералогии СО РАН.

Моноклинные кристаллы KPb2Br5, пр. группа P21/c, a = 8.854(2), b = 7.927(2), c = 12.485(3) Å, β = 90.05(3), Z = 4, являются одной из лучших матриц для лазерноактивных ионов Nd3+, Tb3+, Dy3+ и Er3+. Кристаллическая структура KPb2Br5 показана на Рис.1. Монокристалл KPb2Br5 был выращен методом Бриджмена из стехиометрического расплава. Измерения электронной структуры данного соединения были произведены методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) для порошкового образца, приготовленного из кристалла оптического качества. Для возбуждения фотоэмиссии использовалось Al Kα излучение c энергией рентгеновских квантов 1486.6 эВ. В результате впервые установлено строение валентной зоны данного бромида (Рис.2) и электронные параметры верхних остовных уровней. Вблизи вершины валентной зоны доминирует интенсивный пик с энергией 3.6 эВ, связанный с наличием ионов Br в кристаллической решётке.

Рис.1. Кристаллическая структура KPb2Br5.
Рис.2. Валентная зона KPb2Br5.

Впервые определены разностные энергетические параметры ΔK = (BE K 2p3/2 - BE Br 3d) and ΔPb = (BE Pb 4f7/2 - BE Br 3d) для ионов K+ и Pb2+ в решетке KPb2Br5, позволившие произвести сравнительный анализ ионности связей K-Br и Pb-Br в различных бромидах. Кроме фотоэлектронных линий основных элементов обнаружены линии углерода (С 1s) и кислорода (O 1s). Линия C 1s отнесена к углеводородам, адсорбированным на поверхности. Слабая интенсивность линии O 1s свидетельствует о высокой устойчивости поверхности KPb2Br5 по отношению к окислению кислородом атмосферы.

2008

Низкотемпературный синтез наностержней гексагонального оксида молибдена h-MoO3
И.Б.Троицкая, Т.А.Гаврилова, Л.Д.Покровский, В.В.Атучин
Лаборатория оптических материалов и структур.
Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии.
Институт химии твердого тела и механохимии СО РАН.
Институт неорганической химии СО РАН.
University of Texas at El Paso, USA.

Предложен метод синтеза редкой гексагональной модификации оксида молибдена путем осаждения кристаллов h-MoO3 из раствора парамолибдата аммония азотной кислотой при температуре T=85°C. Микроморфология полученных нанокристаллов и картина ПЭМ, подтверждающая фазовый состав оксида, показаны на рисунке. Формирование гексагональной модификации оксида молибдена подтверждено рентгенофазовым анализом (РФА) и просвечивающей электронной микроскопией (ПЭМ). Кристаллы h-MoO3 представляют собой стержни с поперечным сечением ~500 нм и длиной ~30 мкм.

Рис. РЭМ изображения (а) сростка кристаллов и (б) отдельного кристалла h-MoO3 диаметром 500 нм.

Полученные нанокристаллы отличаются выраженной огранкой и однородностью геометрических размеров. Проведено исследование зависимости геометрических параметров стержней в зависимости от условий синтеза и воздействия ультразвука в процессе кристаллизации. Впервые получены ИК- и КР-спектры для гексагональной модификации оксида молибдена h-MoO3.

2007

Широкоформатный многокомпонентный киноформный линзовый растр для фокусировки мощных лазерных пучков
В.В.Атучин, И.С.Солдатенков
Лаборатория оптических материалов и структур.
Институт лазерно-физических исследований РФЯЦ ВНИИЭФ.

Для увеличения и стабилизации качества пучка на выходе технологической установки "Луч" (РФЯЦ ВНИИЭФ) рассчитана конфигурация эллиптических фокусирующих киноформных элементов многокомпонентного растра формата 200×200 мм2 в приближении реальных световых пучков. Разработана конструкция широкоформатного линзового растра, показанная на Рис. 1, и технология его изготовления.

Рис. 1. Схема расположения элементов в многокомпонентном растре формата 200×200 мм2. Различные типы эллиптических линз с фокусными расстояниями в диапазоне 36 - 100 м помечены числами.

Линзовый растр изготовлен методами прецизионного травления и испытан в рабочем канале установки "Луч" на длине волны λ = 0,527 мкм при плотности мощности облучения 1,6×1014 Вт/см2. Параметры пятна фокусировки показаны на Рис. 2. Применение растра нового типа обусловило прирост однородности пучка фокусировки на ≈30% и увеличение доли энергии в нем на ≈30% относительно растра однокомпонентной структуры. Получено стабильное качество пучка по глубине продольного положения мишени до 1000 мкм. С использованием растра проведены эксперименты по генерации плоских ударных волн (УВ) при взаимодействии светового пучка с лазерной мишенью. Они показали высокую стабильность качества УВ на выходе базы - разновременность времени выхода УВ в серии экспериментов составила менее 10 пс.

Рис. 2. Двумерный вид пучка фокусировки с использованием многокомпонентного растра при дифракционном качестве излучения (а) и огибающие в вертикальном и горизонтальном направлениях (б). Размеры показаны в сантиметрах.