Лаборатория эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Основными направлениями деятельности лаборатории являются:

1. Развитие метода оптической эллипсометрии применительно к исследованиям новых полупроводниковых материалов и структур для микро- и наноэлектроники.

2. Разработка физических принципов и создание новой эллипсометрической аппаратуры для экспериментальных исследований и контроля полупроводниковых материалов и структур.

В состав лаборатории входят 20 сотрудников, из них 4 научных сотрудника (1 д.н. и 3 к.н.) и 16 человек инженерно-технического персонала (из них 2 к.н.) и 1 аспирант.

Проведение исследований базируется на использовании комплекса методов эллипсометрии, которые включают спектральную эллипсометрию (в том числе эллипсометрию Тгц диапазона спектра), эллипсометрию высокого временного разрешения и эллипсометрию высокого пространственного разрешения. По всем этим направлениям работы коллектива лаборатории находятся на мировом уровне исследований. Все исследования проводятся на эллипсометрическом оборудовании, разработанном и произведенном в ИФП СО РАН на уровне изобретения и отвечающем уровню оснащения ведущих мировых научных центров в области диагностики и структурного анализа многослойных тонкопленочных наноструктур твердотельной электроники.