Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники

Михайловский Игорь Петрович

инженер-технолог, к.ф-м.н.

участок плазмо-химической обработки полупроводниковых пластин (“Plasma-Lab 100”)

тел. 330-67-68, вн. 1284

305 ТК

e-mail: