Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники

ПУБЛИКАЦИИ



2005

Публикации в рецензируемых журналах

  1. Овсюк В.Н. Шашкин В.В. Фомин Б.И. Демьяненко М.А. Васильева Л.Л. Соловьев А.П. Неохлаждаемые матричные микроболометрические приемники ИК излучения на основе золь-гель VOx Прикладная физика, №6, стр 114-117, 2005
  2. O.V. Naumova, A.A. Frantzusov, D.V. Nikolaev, V.P. Popov. Charge accumulation on oxides of SOI wafers fabricated by hydrogen slicing. Silicon-on-Insulator Technology and Devices XII, PV-2005-03, Editors: G.K.Celler, S.Cristoloveanu, J.G.Fossum, F.Ganiz, K.Izumi, Y.W.Kim, 2005, pp.255-260
  3. I.V.Antonova, J.Stano, O.V.Naumova, V.A.Skuratov, V.P.Popov. Radiation Effects in SOI: Irradiation by High Energy Ions and Electrons. Science and Technology of Semiconductor-on-insulator Structures and Devices Operating in a harsh environment, D.Flandre, A.Nazarov (eds), Kluwer Academic Publisher, Netherlands, NATO Science Serias, II Materials, Physics and Chemistry - vol.185, 2005, pp.215-220

Доклады на конференциях

  1. Ovsyuk V.N. Shashkin V.V. Foomin B.I. Vasilieva L.L. Demianenko M.A. Soloviev Uncooled microbolometer IR FRA based on sol-gel VOx In 18th International Conference on Photoelectronics and Night Vision Devices, Proceedings of SPIE, V 5834, pp. 47-54, June 2005
  2. Ovsyuk V.N. Shashkin V.V. Vasilieva L.L Fomin B.I. Demianenko M.A. Parm I.O. Uncooled 160x120 microbolometer IR FRA based on sol-gel VOx In International Conference on Optics and Optoelectronics, Proceedings of SPIE, V 5957, 5957IR, 2005
  3. Овсюк В.Н., Шашкин В.В., Фомин Б.И., Демьяненко М.А., Васильева Л.Л., Соловьев А.П. Неохлаждаемые матричные микроболометрические приемники ИК излучения на основе золь-гель VOx Прикладная физика, №6, стр 114-117, 2005
  4. О.В.Наумова, Ю.В.Настаушев, Ф.Н.Дульцев, А.С.Медведев, Л.А.Ненашева, А.К.Гутаковский, Д.В.Щеглов, А.В.Латышев, А.Л.Асеев, В.П.Попов. Свойства тонких пленок Ti на кремнии после окисления и азотирования. VII Российская конференция по физике полупроводников, М., 2005 – Устный
  5. O.V. Naumova, A.A. Frantzusov, D.V. Nikolaev, V.P. Popov Charge accumulation on oxides of SOI wafers fabricated by hydrogen slicing, 12th International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices, Quebec, Canada, 15-20 May, 2005 - Устный