ОБОРУДОВАНИЕ И КОМПЛЕКТУЮЩИЕ
Для синтеза и диагностики А3-нитридных гетероструктур используется комплекс оборудования, включающий в себя автоматизированные установки молекулярно-лучевой эпитаксии моделей CBE-32 и Compact-21 (на фото), фирмы Riber. Камера МЛЭ установки Compact-21 оснащена квадрупольным анализатором масс (0-200 а.е.м.) и дифрактометром ДБЭО с перестраиваемой в диапазоне 2-12 кэВ энергией первичного пучка электронов и автоматизированной цифровой системой регистрации динамики картины дифракции электронов kSA400.
Для in situ исследования гетероструктур AlGaN/GaN используются возможности Центра коллективного пользования «Наноструктуры» при ИФП СО РАН (https://www.isp.nsc.ru/ckp/pribornyj-park).
С момента создания молодежной лаборатории было приобретено и используется следующее оборудование и комплектующие:
2022
- Осциллограф MSO5204 RIGOL, фирмы Rigol.
Цифровой осциллограф Rigol MSO5204 – многофункциональный высокопроизводительный прибор с полосой пропускания 200 МГц, работающий на основе технологии UltraVision II и оснащенный 4 аналоговыми и 16 цифровыми каналами. Он реализует на аппаратном уровне режимы логического анализатора, вольтметра и частотомера с сумматором, анализатора спектра, а при задействовании дополнительных опций – двухканального генератора с поддержкой нескольких видов модуляции и свипирования, анализатора протоколов и анализатора источников питания.
- Спиральный безмасляный форвакуумный насос, 500 л/мин Anest Iwata, Япония ISP-500C
Спиральный безмасляный форвакуумный сухой насос используется для предварительной откачки вакуумных камер после вскрытия их на атмосферу.
- Молибденовые держатели для 2-х и 3-х дюймовых подложек.
2023
- Высокотемпературный кремниевый источник E38UT290NNSD производства Fermion Instruments (Shanghai) Co., Limited (Китай)
Высокотемпературный кремниевый источник используется совместно с установкой аммиачной МЛЭ Compact-21(NH3) при легировании и пассивации A3-нитридных гетероструктур.
- Спектрометр с оптической обвязкой, в составе:
- Спектрометр Ocean Optics USB4000 spectromete
- Волоконный световод (диаметр сердцевины 100мкм) Ocean Optics QP100-2-UV/BX
- Линзовый коллиматор для световода Thorlabs F810SMA-780
- Кинематический держатель оптических элементов диаметром 1 дюйм Thorlabs KM100
Спектрометр с оптической обвязкой используется для определения истиной температуры подложки на поверхности растущих плёнок и измерений скорости роста слоёв на установке аммиачной МЛЭ.
- Комплекс сверхвысоковакуумной откачки в составе:
- Насос турбомолекулярный CXF250/2301CSE, производитель KYKY;
- Насос форвакуумный винтовой PS80-HN1;
- Сильфон KF40FX1000;
- Хомут KF40CLA;
- Кольцо KF40CRVS;
- Адаптер CF63K40A.
Система форвакуумной откачки использована для модернизации установки аммиачной молекулярно-лучевой эпитаксии Riber32-NH3.
- Установка для производства жидкого азота MixNL-1200, производства ООО "Криотрейд инжиниринг", Российская Федерация, включая:
- Металлорукав ДУ40 гайка РОТ в количестве 4-х штук;
- Вентиль криогенный в количестве 4-х штук;
Установка для производства жидкого азота (на фото) обеспечивает непрерывную работу лабораторий Института, в том числе работу молодежной лаборатории №18 по исследованию и разработке технологий выращивания ГЭС для сверхвысокочастотной и силовой ЭКБ и ФПУ за счет бесперебойного обеспечения сверхвысокого вакуума в результате заливки криопанелей жидким азотом в установках МЛЭ Compact 21 и СBE-32.
2024
- Алюминиевый испарительный источник пригодный для аммиачной МЛЭ.
Молекулярный испарительный источник алюминия для аммиачной эпитаксии нитридов с отрицательным градиентом к апертуре тигля используется в комплекте с тиглем из пиролитического нитрида бора специальной конструкции и формы, предотвращающий «creeping»-эффект в атмосфере остаточного аммиака.
- Управляющая плата для регулятора потока аммиака Bronkhorst (0-400sccm).
Плата содержит микропроцессорный контроллер и вспомогательные схемы, используемые для измерения, управления и обмена данными и является составной частью регулятора расхода аммиака Bronkhorst (0-400sccm), который используется при росте гетероструктур A3-нитридов на установке аммиачной МЛЭ.