Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии

Сверхвысоковакуумный отражательный электронный микроскоп (СВВ ОЭМ) - не имеющий аналогов в России уникальный микроскоп, позволяющий проводить in situ эксперименты при высоких температурах, имеет высокую чувствительность к элементам структуры поверхности и обеспечивает пространственное разрешение, достаточное для визуализации индивидуальных моноатомных ступеней... читать далее>>>

Просвечивающие электронные микроскопы высокого разрешения (ПЭМ) - позволяют по изображениям, полученным с атомным разрешением, и картинам дифракции электронов характеризовать структурные дефекты, определять такие важные параметры низкоразмерных систем, как пространственное расположение квантовых объектов их размеры... читать далее>>>

Сканирующий электронный микроскоп (СЭМ) - предназначен для исследования морфологии и измерение линейных размеров микрорельефа поверхности и анализа химического состава приповерхностного слоя методами EDX... читать далее>>>

Установка фокусированных ионных пучков (ФИП) - совмещающая растровую электронную микроскопию с ионным пучком, широко применяется в современных полупроводниковых технологиях, научных исследованиях, а также для решения прикладных задач препарирования образцов для электронной микроскопии... читать далее>>>

Атомно-силовые микроскопы (АСМ) - предназначены для трёхмерных измерения линейных размеров элементов структур, микро- и нанорельефа поверхности конденсированных сред, модификации (литографии) поверхности зондом микроскопа... читать далее>>>

Оптический литограф - применяется для непосредственного формирования топологических структур на полупроводниковых пластинах и изготовления промежуточных шаблонов при производстве БИС, СБИС и других изделий электронной техники... читать далее>>>

Электронный литограф - используется для формирования структур различного применения с размерами от 20 нм, создания промежуточных шаблонов для оптической литографии и сканирования поверхности образцов с большим увеличением в автоматическом режиме... читать далее>>>

Четырёхзондовая станция - предназначена для проведения точных и надежных измерений вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик в непрерывном или импульсном режиме на пластине, возможных только при осуществлении качественного, стабильного и надежного контакта, не разрушающего измеряемое устройство... читать далее>>>