Группа моделирования электронных и технологических процессов микроэлектроники

Руководитель группы

Игорь Георгиевич Неизвестный
член-корр. РАН, д.ф.-м.н., профессор

тел. (383) 333-23-67, вн. 1008

E-mail:


ИО руководителя

Шварц Наталия Львовна
зав.фил.каф. НГТУ

тел. 333-14-75,
внутр. 1430

E-mail:

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Главные научные интересы группы:

  • Наноматериаловедение.
  • Поведение веществ в технологических процессах, применяемых для создания наноструктур.
  • Объяснение экспериментальных фактов и предсказание новых явлений в данной области.

Метод исследования:

  • Моделирование процессов роста тонких слоев на кристаллических подложках методом Монте-Карло.
  • Моделирование процессов атомной диффузии с использованием потенциалов межатомных взаимодействий.
  • Проведение параллельно вычислительных и натурных экспериментов (совместно с экспериментальными группами) и сопоставление данных.

Цели и задачи:

Объяснение экспериментальных фактов и предсказание новых явлений в тонких слоях на кристаллических подложках при формирования наноструктур в процессах MBE, CVD, ALD и при высокотемпературных отжигах.