|
|
В чистой комнате класса ISO4 (класса10) размещена установка штамповой импринт-нанолитографии Eitre 6 (фирмы Obducat ) и установка травления полимеров в кислородной плазме. |
|
|
Созданная в лаборатории установка выращивания графена методом химического осаждения из газовой фазы |
Установка измерения свойств метаматериалов на сверхвысоких частотах |
|
|
Установка бесконтактного измерения времени жизни «ТАУРИС-С» |
Установка измерения вольт-фарадных характеристик KEITHLEY 6485 |
|
|
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER P47-PRO (фирмы НТ-МДТ) |
Установка для магнито-транспортных измерений при низких температурах |