ОБОРУДОВАНИЕ

В чистой комнате класса ISO4 (класса10) размещена установка штамповой импринт-нанолитографии Eitre 6 (фирмы Obducat ) и установка травления полимеров в кислородной плазме.
Созданная в лаборатории установка выращивания графена методом химического осаждения из газовой фазы Установка измерения свойств метаматериалов на сверхвысоких частотах
Установка бесконтактного измерения времени жизни «ТАУРИС-С» Установка измерения вольт-фарадных характеристик KEITHLEY 6485
Сканирующий зондовый микроскоп SOLVER P47-PRO (фирмы НТ-МДТ) Установка для магнито-транспортных измерений при низких температурах