РУКОВОДИТЕЛЬ

Сергей Владимирович Рыхлицкий
кандидат технических наук, зав.лаб.

тел. (383) 330-89-46
217 ЛТК

E-mail:

Рыхлицкий С.В. с 2001 г. руководит лабораторией эллипсометрии полупроводниковых материалов и структур (№2), он является специалистом в области оптической эллипсометрии, физической оптики и оптико-электронного приборостроения.

Основные направления научной работы Рыхлицкого С.В. связаны с исследованиями новых материалов и структур полупроводниковой микро- и наноэлектроники методом оптической эллипсометрии, а также с разработкой физических принципов и созданием новой эллипсометрической аппаратуры для проведения экспериментальных исследований и технологического контроля.

На протяжении последних лет с его непосредственным участием были проведены исследования оптических и структурных свойств структур кремний–на–изоляторе, что позволило наладить в институте эффективную эллипсометрическую диагностику структур КНИ. Был проведен цикл работ по исследованию процессов плавления и структурных превращений в сверхтонких пленках Ge и изучению оптических свойств гетероструктур SiO2/Ge/SiO2 при высокотемпературном импульсном термическом нагреве. Изучены процессы частичной кристаллизации, плавления и рекристаллизации аморфного германия, измерена температурная зависимость его оптических постоянных. Были продолжены работы по повышению эффективности использования эллипсометрии в in-situ исследованиях гетероэпитаксиальных структур Hg1-xCdxTe и наноструктур на их основе. Все это позволило существенно улучшить эллипсометрический контроль процессов выращивания ГЭС КРТ методом МЛЭ. Был проведен цикл исследований дисперсии оптических постоянных, толщин и структуры тонкопленочных нелинейно-оптических J-агрегатов.

В лаборатории, под непосредственным научном руководстве Рыхлицкого С.В., за последние пять лет был разработан унифицированный модельный ряд эллипсометров нового поколения, соответствующих по своим характеристикам уровню лучших мировых аналогов. Осуществлены многочисленные поставки эллипсометрической аппаратуры институтам РАН, на промышленные предприятия, университетам, а также на экспорт. Принимает активное участие в выставочной деятельности в РФ и за рубежом.

Рыхлицкий С.В. занимается научно-педогогической деятельностью: он несколько лет являлся председателем ГАК Института оптики и оптических технологий СГГА, под его научным руководством защищены 2 кандидатские диссертации.