Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники

Сухих Сергей Александрович

ведущий инженер-технолог

участок ионного легирования (микротоковый источник ионов HVEE-400)

тел. 330-67-68, вн. 1213

121, 347 ТК

e-mail: