РАЗРАБОТКИ
Низкотемпературная (не выше 300С) золь-гель технология получения пленок окисла ванадия с температурным коэффициентом сопротивления около 1,5%. Технололия успешно использована при изготовлении микроболометрических матриц ИК – диапазона форматом 120х160 пикселей.
Технология микроболометрических матрицы форматом 160х120 и 320х240 пикселей. Размер пикселя 51 мкм. ФПУ с такими матрицами позволяет получать тепловое изображение с разрешением менее 0,1 градуса. В настоящее время ведется разработка технологии с целью получения матриц большего формата и размером пикселя 25 мкм и 17 мкм.
a
b(a) - Фрагмент микроболометрической матрицы форматом 320х240 пикселей и (b) - тепловое изображение человека, полученное с помощью данной матрицы.
-
Низкотемпературная технология изготовления высокочувствительных полупроводниковых нанопроволочных химических и биологических сенсоров. Чувствительность сенсоров может достигать 10-14 - 10-15 моль/литр.
№ Аналит Чувствительность (М) 1 Ионы хлора 10-14 2 BSA (бычий сывороточный альбумин) 10-15 3 AFP (альфа-фетопротеин-маркер первичного рака печени) 4,5×10-15 4 HBsAg (антиген вируса гепатита В) 7×10-14 5 DNFAT 1 (маркер рака легких) 2,5×10-15 a b c (a) - изображение отдельного КНИ-нанопроволочного транзистора в качестве высокочувствительного элемента химических и биологических сенсоров, (b) - изменения сток-затворных характеристик сенсора с ростом содержания молекул BSA в растворе от фемто-моля и выше и (c) - yстановленная чувствительность к различным типам частиц (совместно с ИБМХ РАМН)
