Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники

Руководитель:

д.ф.-м.н. Наумова Ольга Викторовна
Тел.: (383) 330-67-68
E-mail:

Адрес:

г. Новосибирск, ул. Пирогова, 30
Термостатированный корпус ИФП СО РАН, к. 347