СОТРУДНИКИ

Белоусов Игорь Иванович

Старший инженер

тел. 333-10-83, вн. 1325

e-mail:

Кабинет 114, Термокорпус ИФП

Образование:
1984 — окончил Новосибирский электротехнический институт в 1984 году.
1992 — защитил диссертацию на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук «Перенос заряда в МДП-структурах с двуокисью кремния, полученной при низких температурах».

Трудовая деятельность:
С 1986 года работает в ИФП СО РАН, в настоящее время в должности старшего инженера.

Должностные обязанности:
Эксплуатация, ремонт и модернизация установки плазмохимического травления PlasmaLab 100.
Разработка технологии и проведение работ по плазмохимическому нанесению диэлектрических слоев и плазмохимическому травлению полупроводниковых структур на установке PlasmaLab 100.