СОТРУДНИКИ
Белоусов Игорь Иванович
Старший инженер
тел. 333-10-83, вн. 1325
e-mail:
Кабинет 114, Термокорпус ИФП
Образование:
1984 — окончил Новосибирский электротехнический институт в 1984 году.
1992 — защитил диссертацию на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук «Перенос заряда в МДП-структурах с двуокисью кремния, полученной при низких температурах».
Трудовая деятельность:
С 1986 года работает в ИФП СО РАН, в настоящее время в должности старшего инженера.
Должностные обязанности:
Эксплуатация, ремонт и модернизация установки плазмохимического травления PlasmaLab 100.
Разработка технологии и проведение работ по плазмохимическому нанесению диэлектрических слоев и плазмохимическому травлению полупроводниковых структур на установке PlasmaLab 100.