Лаборатория нанодиагностики и нанолитографии

ПРОЕКТЫ

Завершённые гранты РФФИ:

  • 07-08-00434 Ю.В.Настаушев "Разработка и создание универсального эталона высоты для метрологических применений и стандартизации в области нано- и биотехнологий".
  • 07-08-00413 Д.В.Щеглов "Наноструктурирование и исследование полупроводниковых, металлических и органических материалов методами зондовой модификации и диагностики".
  • 07-02-01003 А.В.Латышев "Интердиффузия в атомных слоях и изолированных наноструктурах на поверхности кремния".
  • 07-02-00671 А.К.Гутаковский "Применение высокоразрешающей электронной микроскопии для визуализации и количественного анализа полей деформации в низкоразмерных гетеросистемах".
  • 04-02-16541 А.Л.Асеев "Исследование нанокристаллов кремния, сформированных методами электронной и зондовой нанолитографии в слоях КНИ".
  • 04-02-20069 А.Л.Асеев "Создание и исследование твердотельных наноструктур и приборов на их основе".
  • 04-02-16286 А.К.Гутаковский "Электронномикроскопические исследования атомной структуры границ раздела, морфологии и механизмов формирования нанокристаллических систем".
  • 04-02-16693 А.В.Латышев "Атомные ступени, монослойные покрытия и нанокластеры на поверхности кремния".
  • 01-02-17438 А.К.Гутаковский "Электронномикроскопические исследования твердофазных реакций в многокомпонентных системах пониженной размерности".
  • 01-02-17464 А.В.Латышев "Изучение атомных процессов на поверхности кремния при самоорганизации нанообъектов методом in situ СВВ отражательной электронной микроскопии".
  • 01-02-17451 Л.И.Федина "Низкоразмерные структуры собственных точечных дефектов в кристаллах кремния и германия".

Текущие гранты (2011):

  • 11-02-05036 А.Л.Асеев "Создание и исследование твердотельных полупроводниковых наноструктур и низкоразмерных электронных систем".
  • 10-02-00926 А.Л.Асеев "Электронный транспорт в предельно малых кремниевых нанопилларах".
  • 10-02-00782 А.К.Гутаковский "Атомное строение полупроводниковых гетеросистем и новые аспекты дефектообразования при эпитаксии на вицинальных и несингулярных поверхностях подложки".
  • 09-02-01171 Л.И.Федина "Собственные нанокластерные структуры в кристаллах Si и Ge, инициированные вакансионно-междоузельным упорядочением".

Участие в проектах:

Миннаука

  • Федеральная целевая научно-техническая программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники” на 2002-2006 годы, блок "Ориентированные фундаментальные исследования", раздел "Фундаментальные исследования в области физических наук",: тема: "Физика твердотельных наноструктур", проект "Методы комплексной диагностики наноструктур”, руководитель проекта А.В.Латышев
  • Федеральная целевая научно-техническая программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития науки и техники" на 2002-2006 годы, блок 1 - "Ориентированные фундаментальные исследования", раздел - "Информационные технологии и электроника", тема "Зондовые и лучевые методы создания твердотельных структур с атомным разрешением", проект "Наноструктурирование зондовыми и лучевыми методами", руководитель проекта А.В.Латышев
  • Федеральная программа целевой поддержки центра коллективного пользования, при ИФП СО РАН и ИК СО РАН: "Технологии наноструктурирования полупроводниковых, металлических, углеродных, биоорганических материалов и аналитические методы их исследования на наноуровне". Руководители А.К.Гутаковский и А.В.Латышев.
  • Грант Минобразования России, А03-2.9-824, "Исследование процессов наномодификации поверхности полупроводников и металлов зондом атомно-силового микроскопа с целью создания наноразмерных структур для наноэлектроники", Руководители А.В.Латышев и Д.В.Щеглов

Программы РАН и интеграционные СО РАН

  • Программа фундаментальных исследований РАН "Низкоразмерные квантовые структуры", проект "Исследование транспортных явлений в структурах с пониженной размерностью", руководитель чл.-корр. РАН А.Л.Асеев
  • Молодежный проект СО РАН имени академика М.А. Лаврентьева, "Разработка лабораторной технологии литографии на поверхности полупроводников и металлов c разрешением до 10 нм с помощью атомно-силовой микроскопии для изготовления наноразмерных объектов", руководитель Д.В.Щеглов

РФФИ

  • 01-02-17451 Федина Л.И. "Низкоразмерные структуры собственных точечных дефектов"
  • 01-02-17560 Асеев А.Л. "Наноструктуры на поверхности кремния"
  • 01-02-17464 Латышев А.В. "Изучение атомных процессов на поверхности кремния при самоорганизации нанообъектов методом in situ СВВ отражательной электронной микроскопии"
  • 01-02-17438 Гутаковский А.К. "Электронно-микроскопические исследования твердофазных реакций в многокомпонентных системах пониженной размерности"

Международные

  • Международный проект с Институтом лазерной физики и физики плазмы (г.Эссен, Германия), "Manipulation of atomic processes on semiconductor surfaces", руководитель проекта А.В.Латышев

Завершённые гранты РФФИ:

  • 10-02-05047 А.Л.Асеев "Развитие материально-технической базы для проведения исследований по области знаний 02. Cоздание и исследование твердотельных полупроводниковых наноструктур и низкоразмерных электронных систем
  • 07-08-00434 Ю.В.Настаушев "Разработка и создание универсального эталона высоты для метрологических применений и стандартизации в области нано- и биотехнологий".
  • 07-08-00413 Д.В.Щеглов "Наноструктурирование и исследование полупроводниковых, металлических и органических материалов методами зондовой модификации и диагностики".
  • 07-02-01003 А.В.Латышев "Интердиффузия в атомных слоях и изолированных наноструктурах на поверхности кремния".
  • 07-02-00671 А.К.Гутаковский "Применение высокоразрешающей электронной микроскопии для визуализации и количественного анализа полей деформации в низкоразмерных гетеросистемах".
  • 04-02-16541 А.Л.Асеев "Исследование нанокристаллов кремния, сформированных методами электронной и зондовой нанолитографии в слоях КНИ".
  • 04-02-20069 А.Л.Асеев "Создание и исследование твердотельных наноструктур и приборов на их основе".
  • 04-02-16286 А.К.Гутаковский "Электронномикроскопические исследования атомной структуры границ раздела, морфологии и механизмов формирования нанокристаллических систем".
  • 04-02-16693 А.В.Латышев "Атомные ступени, монослойные покрытия и нанокластеры на поверхности кремния".
  • 01-02-17438 А.К.Гутаковский "Электронномикроскопические исследования твердофазных реакций в многокомпонентных системах пониженной размерности".
  • 01-02-17464 А.В.Латышев "Изучение атомных процессов на поверхности кремния при самоорганизации нанообъектов методом in situ СВВ отражательной электронной микроскопии".
  • 01-02-17451 Л.И.Федина "Низкоразмерные структуры собственных точечных дефектов в кристаллах кремния и германия".

Текущие гранты (2011)

  • 11-02-05036 А.Л.Асеев "Создание и исследование твердотельных полупроводниковых наноструктур и низкоразмерных электронных систем".
  • 11-02-01824 А.Л.Асеев "Экстренная поддержка материально-технической базы для проведения исследований по области знаний 02".
  • 10-02-00926 А.Л.Асеев "Электронный транспорт в предельно малых кремниевых нанопилларах".
  • 10-02-00782 А.К.Гутаковский "Атомное строение полупроводниковых гетеросистем и новые аспекты дефектообразования при эпитаксии на вицинальных и несингулярных поверхностях подложки".
  • 09-02-01171 Л.И.Федина "Собственные нанокластерные структуры в кристаллах Si и Ge,инициированные вакансионно-междоузельным упорядочением".

Госконтракты:

Федеральная научно-техническая программа "Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2007-2012 годы" по следующим контрактам:

  1. Госконтракт №16.552.11.7026 "Проведение центром коллективного пользования научным оборудованием "Наноструктуры" поисковых научно-исследовательских работ в области создания и диагностики функциональных твердотельных наносистем и материалов для решения задач био- и нанотехнологий", научный руководитель – член-корреспондент РАН А.В. Латышев;
  2. Госконтракт №16.648.12.3018 "Комплект высокоточных мер ступенчатых поверхностей с субангстремным вертикальным разрешением для обеспечения единства измерений в нано- и субнанометровом диапазоне размеров", научный руководитель – член-корреспондент РАН А.В. Латышев.

Федеральная научно-техническая программа "Научные и научно-педагогические кадры инновационной России на 2009-2013 годы" по контракту:

  1. Госконтракт №02.740.11.0114 "Атомные процессы, структурная диагностика и технология изготовления наносистем", научный руководитель - член- корреспондент РАН А.В. Латышев;
  2. Госконтракт №02.740.11.0519 "Новое поколение интерферометров на основе атомно-гладких зеркал" научный руководитель - член-корреспондент РАН А.В. Латышев;

Программы РАН

Программа Президиума РАН "Основы фундаментальных исследований нанотехнологий и наноматериалов", координатор - академик Ж.И.Алферов. В рамках этой программы выполнялись следующие проекты: 2011

    • "Диагностика наноструктур на атомарном уровне: развитие in situ электронно-зондовых методов и исследование закономерностей формирования гомо- и гетерогенных полупроводниковых наноструктур", руководитель - член- корреспондент РАН А.В.Латышев.
    • "Интроскопия полупроводниковых одноэлектронных и квантовых наноустройств", руководители - член-корреспондент РАН А.В.Латышев, к.ф-м.н. О.А.Ткаченко.
    • "Создание светоизлучающих диодов на основе наноструктурированных слоёв кремния для диапазона длин волн 1.5-1.6 мкм", руководитель - д.ф.-м.н. А.А.Шкляев.
    • "Получение нанокомплексов, содержащих короткую двуцепочечную РНК, обладающих иммуномодулирующим, интерферон-индуцирующим и антипролиферативным действием", руководитель - академик В.В.Власов (от ИФП СО РАН - член-корреспондент РАН А.В.Латышев).
    • "Разработка и апробация платформы для быстрого секвенирования отдельных молекул ДНК в реальном времени с использованием флуоресцентных аналогов субстратов в нанореакторах объемом 50 зептолитров", руководитель - академик М.А.Грачев (от ИФП СО РАН - член-корреспондент РАН А.В.Латышев).

    Проекты СО РАН

    Программа СО РАН №II.6.3.

    Комплексная нанодиагностика систем пониженной размерности, нанолитография и нанометрология (Координатор - член-корр. РАН А.В.Латышев)

    II.6.3.1. "Методы создания и структурно-химической диагностика на атомарном уровне полупроводниковых систем пониженной размерности" Руководитель - член-корр. РАН А.В.Латышев.

    С международным участием

    • Разработка и исследование физико-химических свойств композитных материалов на основе полупроводниковых нанокристаллов и функциональных органических лигандов. Сроки: 2010-2011гг. Руководитель: член-корр. РАН Л.В.Латышев, д.ф.-м.н. А.Г.Милёхин

    Интеграционные проекты

    Нанотехнологическая платформа для исследования нуклеиновых кислот, координатор проекта - академик М.А. Грачев (от ИФП СО РАН член-корреспондент РАН А.В.Латышев); 2011г.