Четырёхзондовая станция с параметрическим анализатором

Активное развитие микро- и наноэлектроники привело к необходимости проведения точных и надёжных измерений на пластине, возможных только при осуществлении качественного, стабильного и надежного контакта, не разрушающего измеряемое устройство. Решение данных задач достигается за счёт применения зондовых станций, специально спроектированных под конкретный вид измерений, осуществляющих зондовый контроль. Станции проектируются специализированно для исключения внешних воздействий, собственных шумов и сохранения «чистоты» эксперимента. Качественное тестирование полупроводниковых приборов по постоянному току, а также в ВЧ и СВЧ диапазоне являются критически важными задачами для успешной разработки нового микроэлектронного устройства. В большинстве случаев эти измерения выполняются на полупроводниковых пластинах. Компания Agilent Technologies совместно с компанией Cascade Microtech предлагают решение, которое включает в себя измерительные приборы и программное обеспечение для автоматического проектирования компании Agilent, а также зондовые станции компании Cascade. Для измерений по постоянному току используется параметрический анализатор Agilent B1500A. Этот модульный прибор под управлением графической среды Agilent EasyExpert предназначен для измерений вольт-амперных (ВАХ) и вольт-фарадных (ВФХ) характеристик в непрерывном или импульсном режиме, управления матрицами коммутации, полуавтоматическими зондовыми станциями и другими приборами.

Специалист:  вед. инж.-техн. Живодков Ю.А.  (ТК к. 107, 108 тел. 330-90-82)


Ручная зондовая станция Cascade M150 (Cascade Microtech, США)

  • Четыре измерительных зонда
  • Измерение пластин размером до 150 мм
  • Оптический микроскоп
  • Столик с вакуумным держателем


Параметрический анализатор Agilent B1500A (Agilent Technologies, США)

Основные возможности

  • Прибор на базе ПК с операционной системой Windows и программным обеспечением EasyEXPERT
  • Одноприборное решение для измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик, генерации импульсов и измерений во временной области
  • Десять гнезд для установки модулей источников питания/измерителей и модулей другого типа (модуль многочастотного измерителя емкости MFCMU, высоковольтного полупроводникового импульсного генератора HV-SPGU игенератора сигналов и быстродействующего измерителя WGFMU)
  • Автономный анализ данных и разработка тестов с помощью программного обеспечения Desktop EasyEXPERT
Измерительные возможности
  • Измерение вольт-амперных характеристик с разрешением 0,1 фA/0,5 мкВ
  • Измерение квазистатической вольт-фарадной (CV) характеристики и CV-характеристики в среднем диапазоне частот
  • Быстрое и точное измерение вольт-амперных характеристик и измерения во временной области для широкого спектра прикладных задач, включая измерение импульсных вольт-амперных характеристик, нестабильности порогового напряжения при отрицательном смещении (NBTI) и шума RTS
  • Генерирование высоковольтных импульсов (до ±40 В) для тестирования силовых устройств и ячеек памяти