Электронный литограф представляет собой модернизированный сканирующий электронный микроскоп фирмы Zeiss с электронной пушкой Supra. Предназначен для нанолитографии с размерами от 20 нм, создании промежуточных шаблонов для оптической литографии и сканирования поверхности образцов с большим увеличением в автоматическом режиме.
Специалисты:
н.с. Насимов Д.А. (ТК к. 108 тел. 330-90-82) м.н.с., к.ф.-м.н. Родякина Е.Е. (ТК к. 106, 108 тел. 330-90-82) инж.-техн. Шалыгина Н.А. (ТК к. 108, 352) инж. Уткин Д.Е. (ТК к. 108, 352) аспирант Голобокова Л.С. (ТК к. 321)
Raith150 (Германия)
Оснащён большой вакуумной камерой, позволяющей загружать образцы размером до 150 мм.
Внутри камеры смонтирован роботизированный лазерный стол, позволяющий позиционировать образец размером до 150 мм с точностью до 20 нм.
Прибор оснащён генератором изображений, позволяющим производить автоматическую съемку поверхности образца.
Литограф оснащён тремя системами автоматической корректировки фокуса.
- Корректировка при помощи пъезо-двигателей
- С использованием объективной линзы
- С использованием движения рабочего стола
Характеристики электронной пушки
Ускоряющее напряжение – 100 – 30000 V
Диаметр пучка – 2 нм при 20 кВ
Время жизни катода – более 2000 часов
Характеристики лазерного стола
Минимальных шаг – 2 нм
Воспроизводимоть положения << 50 нм
Точность позиционирования < 100 нм
Точность совмещения < 100 нм
Вакуумная система
Давление в рабочей камере < 1*10-6 Торр
Давление в пушке< 1*10-9 Торр
Примеры структур, созданных с помощью метода электронной литографии:
