Шрифт
Интервал
Цветовая схема
Изображения
На главную
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
ПРИБОРЫ И ОБОРУДОВАНИЯ

Характеристика

Аналитический комплекс "ЭЛЛИПС-АМ" предназначен для нанодиагностики поверхности шероховатых, неоднородных и анизотропных материалов и слоистых наноструктур методом полной эллипсометрии. Работа комплекса основана на измерения полного вектора Стокса или 16 элементов матрицы Мюллера, которые дают исчерпывающую информацию об оптических свойствах анизотропной, а также несовершенной диффузно-ассеивающей поверхности деполяризующих материалов применяемых в наноиндустрии.

Основные технические характеристики прибора:

Погрешность определения элементов матрицы Мюллера, не хуже0,002
Время полного измерения матрицы, не более5 сек
Диаметр зондирующего пятна на образце, не более3 мм
Размеры, не более800×400×300 мм
Вес, не более30 кг
Питание220 В/50Гц

Технико - экономическое преимущество

Разработанный комплекс наряду с традиционными задачами эллипсометрического измерения оптических констант и толщин пленок оптически гладких и изотропных объектов позволяет проводить измерения на образцах, обладающих нелинейными оптическими свойствами, а также анизотропной внутренней и поверхностной структурой и развитой поверхностью, которые практически не могут быть характеризованы классическими методами оптической эллипсометрии. Отечественной промышленностью на сегодняшний день данный класс приборов не выпускается.

Области применения

Научные учреждения, а также предприятия производители, занимающиеся научно-исследовательскими задачами в области создания современных материалов для нанотехнологий. Солнечные элементы, пористые пленочные структуры, объекты нелинейной оптики, кристаллофизика, нанобиология и т.д.