Шрифт
Интервал
Цветовая схема
Изображения
На главную
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки
ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА
Сибирского отделения Российской академии наук
Лаборатория технологии кремниевой микроэлектроники

заведующая лабораторией
Ольга Викторовна Наумова
д.ф.-м.н., ведущий научный сотрудник

Тел. (383) 330-67-68
e-mail:

Лаборатория располагается в здании термостатированного корпуса ИФП СО РАН по адресу: г. Новосибирск, ул. Пирогова, 30.

ОБЩАЯ ИНФОРМАЦИЯ

Основными направлениями деятельности лаборатории являются:

  1. Разработка технологии, изготовление и исследование физико-химических свойств биологических и химических сенсоров различного вида.

  2. Разработка технологии изготовления микроболометрических матриц большого формата с размером пикселя 25, 17 мкм.

  3. Изготовление для лабораторий института различного вида тестовых МДП-структур и приборов специального назначения.

В состав лаборатории входят 11 сотрудников, из них: 2 научных сотрудника (один д.ф.-м.н и один к.т.н.), 7 человек инженерно-технического персонала и 2 аспиранта.

Проведение работ базируется на технологическом оборудовании кремниевой линейки и комплексно-измерительном оборудовании полупроводниковых структур и приборов.